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--> kmtssm.com:德州仪器半导体制造(TI成都)有限公司NSR-2205i12D安装调试 - 上海芯旷精密机械有限公司 Nikon光刻机安装调试、光学镜头调整、机构改造、故障维修、hp激光器5517A/B/C/D翻新、光刻机备件耗材供应www.kmtssm.com
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电 话:13621722661

邮 箱:tangzy@xkprecision.com

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德州仪器半导体制造(TI成都)有限公司NSR-2205i12D安装调试

2012年底我公司技术人员为德州仪器半导体制造(成都)有限公司安装调试一台NSR-2205i12D
主要事项有

1)各部分单元就位

2)整机调平

3)电气线路连接

4)厂务电/气准备完毕后,开始解决上电复位问题

5)各单元Uuit复位顺利完成后开始各项精度调试

将该NSR-2205i12D光刻机的各项精度和速度指标逐一调整到规格内

而且将该光刻机与标准机台之间的matching精度调整到50nm以内

最终顺利实现客户的各项指标要求















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